走査型カラーレーザー顕微鏡仕様書 2LM11

資料番号 : 113611610009
所在等 レーザーテック株式会社
所在地 神奈川県横浜市
製作(製造)年 1985
種類 設計図・文献
製作者(社)等 レーザーテック株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 1985年、世界で初めてカラーレーザー顕微鏡2LM11を発売した。共焦点光学系にヘリウム・ネオン・レーザー(波長633nmの赤色)とアルゴン・レーザー(波長488nmの青色と515nmの緑色に分波)を加え、RGBの3本で構成した走査型顕微鏡である。フルカラーでかつ高速な観察能力は研究開発や品質管理の場で活躍した。
資料公開状況 非公開
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