150mmフルオートUV照射装置 RAD-2000F/6

資料番号 : 113611610007
所在等 リンテック株式会社 伊奈テクノロジーセンター
所在地 埼玉県北足立郡伊奈町
製作(製造)年 1984
種類 写真
製作者(社)等 リンテック株式会社 伊奈テクノロジーセンター
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 半導体製造後工程におけるウェハ固定用粘着テープに紫外線を照射する装置です。ダイシング工程では、粘着テープによりウェハを高粘着力、ピックアップ工程では低粘着力で固定する必要があります。本装置は粘着テープに紫外線を照射することで粘着力低下を可能とし、半導体ウェハの薄化に大きく寄与しました。対応ウェハサイズは当時最大の6inchですが、現在は12inch対応の装置が主流となってます。
資料公開状況 公開
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