KrFエキシマレーザ KLES-G10K 

資料番号 : 113611610005
所在等 ギガフォトン株式会社
所在地 栃木県小山市
製作(製造)年 1997
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社 小松製作所
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 KLES-G10Kはギガフォトンの親会社である、株式会社小松製作所エキシマレーザ事業部にて開発された国内初の半導体露光装置向け量産型エキシマレーザです。KLES-G10Kは発振周波数1000Hz、出力10Wの性能を実現し、1997年発売開始以来、2000年ギガフォトン設立と共に引継がれた後も、現在(2014年)までその画期的な安定稼働により量産ラインで活躍を続けています。
資料公開状況 非公開
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