(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
高周波超音波発振器ハイメガソニック 68101型 |
資料番号 : 113311580033 |
所在等 |
株式会社カイジョー |
所在地 |
東京都羽村市 |
製作(製造)年 |
1997 |
種類 |
量産品 |
製作者(社)等 |
㈱カイジョー |
調査機関団体 |
超音波工業会 |
特徴 |
1997年に製造開始した半導体洗浄用のデジタル制御方式超音波発振機ハイメガソニック68101型。メガソニック帯域のハイパワー型としては日本初のデジタル制御と外部通信機能を搭載した周波数自動追尾機。作動周波数が950kHzと高周波のため、半導体ウエハやLCDガラスおよびHDDディスクなどへのダメージ発生が少なく、1μm以下のパーティクル洗浄が可能。通信機能の搭載で国内の半導体装置メーカーはもとより、海外の半導体装置メーカーに採用された。ハイメガソニックシリーズの累計出荷台数は10000台以上。 出力:600W 作動周波数:950kHz 電源:AC200V 6A 50/60Hz 発振機外形:320(W)×520(D)×144(H)mm 発振機重量:17kg |
資料公開状況 |
非公開 |
調査票記入日 |
2014/08/25 |
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