(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
高周波超音波洗浄機ハイメガソニック C98S型(6848型発振器と98S型振動板の組合せ) |
資料番号 : 113311580032 |
所在等 |
株式会社カイジョー |
所在地 |
東京都羽村市 |
製作(製造)年 |
1989 |
種類 |
量産品 |
製作者(社)等 |
海上電機株式会社 (㈱カイジョーの旧社名) |
調査機関団体 |
超音波工業会 |
特徴 |
1989年に製造開始した半導体洗浄用のメガソニック帯域の超音波洗浄機ハイメガソニック。作動周波数が950kHzと高周波のため、半導体ウエハやLCD基板およびHDDディスクなどの1μm以下のパーティクル洗浄が可能。またダメージ発生が少ない。 同周波数帯域のハイパワータイプ発振機としては国産初の周波数自動追尾機能を搭載。国内のほとんどの半導体製造装置メーカーに採用された。 6848型発振器と98S型振動板を組合せ、総合型名C98Sとなる。 6848型発振器の出力:600W 作動周波数:950kHz 電源:AC200V 6A 50/60Hz 発振機外形:320(W)×490(D)×164(H)mm 発振機重量:17kg |
資料公開状況 |
非公開 |
調査票記入日 |
2014/08/25 |
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