シリコンウエハの超音波研削テスト加工

資料番号 : 113311580007
所在等 株式会社岳将
所在地 福岡県春日市
製作(製造)年 2000
種類 試作品
製作者(社)等 (株)岳将
調査機関団体 超音波工業会
特徴 2000年、新規開発のホイル形状超音波ダイヤモンド砥石による単結晶シリコンウエハ外周端面(べべリング)研削加工仕様のテスト加工状況と超音波べべリング研削加工の概要。半導体業界には受け入れられなかった。2003年、プラズマテレビ用基板ガラスの外周端面べべリング研削加工の生産ラインに搭載された。ピークでは世界市場の6~7割の基板ガラスを加工した。エンドユーザでの破損事故の発生を激減させた。
資料公開状況 非公開
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