(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
DUVレーザー顕微鏡 LU2000-DUV |
資料番号 : 113111560044 |
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所在等 | 株式会社 ニコン 100周年プロジェクト室 |
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所在地 | 東京都品川区 |
製作(製造)年 | 1998 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | 株式会社ニコン |
調査機関団体 | 日本顕微鏡工業会 |
特徴 | 0.1μmL/Sの超高分解能を実現したウエハ外観検査システム。266nmDUVレーザ光学系を外観検査装置として世界で初めて搭載し、可視光では得られない観察の可能性が広がった。 可視光での低倍観察から15000xという超高倍率DUV観察まで、光学顕微鏡と同等の簡単な操作性を可能とした装置であるとともに、高精度な測長機能により微小寸法測定に威力を発揮した。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2014/07/15 |