(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
LSI検査顕微鏡オプチフォト 200/200D |
資料番号 : 113111560042 |
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所在等 | 株式会社 ニコン 100周年プロジェクト室 |
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所在地 | 東京都品川区 |
製作(製造)年 | 1994 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | 日本光学工業株式会社(現 株式会社ニコン) |
調査機関団体 | 日本顕微鏡工業会 |
特徴 | 超LSIの高集積化とウエハーサイズの大型化に対応したLSI検査顕微鏡。無限遠補正光学系CF&ICの採用、ニコン独自のピンホール照明、CAE構造解析による高剛性ボディで、高解像力化・高焦点深度化と操作性を飛躍的に向上させた。クォーターミクロン・ルールLSIの検査を可能にし、16M/64MDRAMから256MDRAMまで対応している。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2014/07/18 |