LSI検査顕微鏡オプチフォト 200/200D

資料番号 : 113111560042
所在等 株式会社 ニコン 100周年プロジェクト室 
所在地 東京都品川区
製作(製造)年 1994
種類 写真
製作者(社)等 日本光学工業株式会社(現 株式会社ニコン)
調査機関団体 日本顕微鏡工業会
特徴 超LSIの高集積化とウエハーサイズの大型化に対応したLSI検査顕微鏡。無限遠補正光学系CF&ICの採用、ニコン独自のピンホール照明、CAE構造解析による高剛性ボディで、高解像力化・高焦点深度化と操作性を飛躍的に向上させた。クォーターミクロン・ルールLSIの検査を可能にし、16M/64MDRAMから256MDRAMまで対応している。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 2014/07/18
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