グロー放電発光分光分析装置(薄膜評価用) GDLS-9955

資料番号 : 103510401038
所在等 株式会社島津製作所
所在地 京都府京都市
製作(製造)年 1998
種類 設計図・文献、写真
製作者(社)等 株式会社島津製作所
調査機関団体 日本分析機器工業会
特徴 Siウエハ搬送機能を有したグロー放電を用いたウエハ上のBPSG(Boro-Phospho-Silicate-Glass)膜分析装置。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2004/01/30
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