(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
グロー放電発光分光分析装置(薄膜評価用) GDLS-9955 |
資料番号 : 103510401038 |
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所在等 | 株式会社島津製作所 |
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所在地 | 京都府京都市 |
製作(製造)年 | 1998 |
種類 | 設計図・文献、写真 |
製作者(社)等 | 株式会社島津製作所 |
調査機関団体 | 日本分析機器工業会 |
特徴 | Siウエハ搬送機能を有したグロー放電を用いたウエハ上のBPSG(Boro-Phospho-Silicate-Glass)膜分析装置。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2004/01/30 |