(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
真空ロボット VH3A |
資料番号 : 101890081034 |
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所在等 | 株式会社安川電機 ロボティクスオートメーション事業部 |
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所在地 | 福岡県行橋市 |
製作(製造)年 | 1992 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | 株式会社安川電機 |
調査機関団体 | 社団法人日本ロボット工業会 |
特徴 | 半導体製造装置において真空チャンバ内でウェハーを搬送するための真空ロボット。ウェハーサイズが6インチから8インチに移行する時代に開発したモデルであり、当社真空モータ技術を駆使した完全真空モータの採用とダイレクトドライブにより信頼性を大きく向上させた。 |
資料公開状況 | |
調査票記入日 | 2003/12/12 |