真空ロボット VH3A

資料番号 : 101890081034
所在等 株式会社安川電機 ロボティクスオートメーション事業部
所在地 福岡県行橋市
製作(製造)年 1992
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社安川電機
調査機関団体 社団法人日本ロボット工業会
特徴 半導体製造装置において真空チャンバ内でウェハーを搬送するための真空ロボット。ウェハーサイズが6インチから8インチに移行する時代に開発したモデルであり、当社真空モータ技術を駆使した完全真空モータの採用とダイレクトドライブにより信頼性を大きく向上させた。
資料公開状況
調査票記入日 2003/12/12
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