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集積化ガス供給システム IAGDシリーズ

資料番号 113611610031
所在等 CKD株式会社 春日井工場
所在地 愛知県春日井市
製作(製造)年 1992
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/11/27


プロキシミティー・マスク・アライナー PLA-501FA

資料番号 113611610032
所在等 キヤノン株式会社 宇都宮光学機器事業所
所在地 栃木県宇都宮市
製作(製造)年 1978
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/11/27


全自動ワイヤボンダ― SWB-FA-UT-3

資料番号 113611610033
所在等 株式会社 新川
所在地 東京都武蔵村山市
製作(製造)年 1977
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/11/27


CMP装置 F-REX200

資料番号 113611610034
所在等 荏原製作所 精密・電子事業カンパニー
所在地 神奈川県藤沢市
製作(製造)年 2000
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/09/25


ドライ真空ポンプ

資料番号 113611610035
所在等 荏原製作所 精密・電子事業カンパニー
所在地 神奈川県藤沢市
製作(製造)年 1985
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/09/25


シリコン単結晶引上装置 DP-3800RW

資料番号 113611610036
所在等 株式会社 国際電気セミコンダクターサービス サービス本部 サービス営業部
所在地 東京都千代田区
製作(製造)年 1982
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/09/30


比抵抗測定器 RM1

資料番号 113611610037
所在等 株式会社 国際電気セミコンダクターサービス 上市事業所
所在地 富山県中新川郡上市町
製作(製造)年 1961
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/10/17


シリコンエピタキシャル単結晶成長装置 DC-5200

資料番号 113611610038
所在等 株式会社 日立国際電気 電子機械事業部 富山工場
所在地 富山県富山市
製作(製造)年 1971
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/10/07


縦型拡散・CVD装置 VERTEX-Ⅱ DD-802V,DJ-802V

資料番号 113611610039
所在等 株式会社 日立国際電気 電子機械事業部 富山工場
所在地 富山県富山市
製作(製造)年 1987
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/10/02


東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 フォトレジスト塗布現像装置(コーター・デベロッパー) CLEAN TRACK MARK V(マークファイブ)

資料番号 113611610040
所在等 東京エレクトロン株式会社
所在地 東京都港区
製作(製造)年 1988
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/12/17


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