蒸着型半導体歪ゲージ式圧力センサ

資料番号 : 903690480012
所在等 長野計器 株式会社
所在地 長野県上田市
製作(製造)年 1983
種類 量産品
製作者(社)等 長野計器 株式会社
調査機関団体 平成20年度清水主任調査員調査分
特徴 多結晶シリコン薄膜による半導体歪ゲージをステンレス製ダイアフラムに直接蒸着した小型で高感度、耐食性の高い圧力センサ。貼り付け歪ゲージ式圧力センサより小型で、拡散型半導体歪ゲージ式圧力センサの弱点であった耐食性を改善し、より高圧レンジの計測が出来る圧力センサとして開発された。開発当初、1MPaを超える計測が可能な、機械組み込み用小形圧力センサが求められており、最初に業務用インクジェットプリンタのインク圧力計測用として製品化された。その後、業務用空調機の冷媒圧力計測用としての利用を皮切りに一般産業向けに広く利用されるようになり、現在では車載・建設機械・半導体製造装置用などその用途を広げている。
資料公開状況 非公開
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