18インチ干渉計による均質性測定

資料番号 : 113811630010
所在等 株式会社 オハラ 
所在地 神奈川県相模原市
製作(製造)年 1989
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社 オハラ
調査機関団体 一般社団法人 日本光学硝子工業会
特徴 溶解技術やアニール処理技術の向上で屈折率内部均質性の良い光学硝子の生産技術が確立し、宇宙観測、半導体露光機、大型光学装置等の用途で国内外に広く販売してきた。その均質性測定は昭和40年代に自社製の干渉計でスタートし、研磨面測定や研削面で測定するオイルオンプレート法を導入して技術確立を図り、更に1989年には均質性測定では最大径の18インチZYGO社干渉計システムを設置して現在も国内唯一の装置として稼働中。
資料公開状況 非公開
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