(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
157nm屈折率測定装置 |
資料番号 : 113811630009 |
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所在等 | 株式会社 オハラ |
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所在地 | 神奈川県相模原市 |
製作(製造)年 | 2000 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | 株式会社 オハラ |
調査機関団体 | 一般社団法人 日本光学硝子工業会 |
特徴 | 2000年当時、i線(波長365nm)、KrFエキシマレーザー(248nm)に加えてArFエキシマレーザー(193nm)を使った半導体露光装置の量産立ち上げの競争が激化し、さらに次々世代としてF2レーザー(157nm)露光装置が有望視されていたが、この装置に必要な光学材料、光学的評価方法については開発段階であった。そんな中で、オハラは157nm近傍波長で光学材料の屈折率を精密に測定できる技術を開発し、顧客の依頼に応えた。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2015/07/07 |