157nm屈折率測定装置

資料番号 : 113811630009
所在等 株式会社 オハラ 
所在地 神奈川県相模原市
製作(製造)年 2000
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社 オハラ
調査機関団体 一般社団法人 日本光学硝子工業会
特徴 2000年当時、i線(波長365nm)、KrFエキシマレーザー(248nm)に加えてArFエキシマレーザー(193nm)を使った半導体露光装置の量産立ち上げの競争が激化し、さらに次々世代としてF2レーザー(157nm)露光装置が有望視されていたが、この装置に必要な光学材料、光学的評価方法については開発段階であった。そんな中で、オハラは157nm近傍波長で光学材料の屈折率を精密に測定できる技術を開発し、顧客の依頼に応えた。
資料公開状況 非公開
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