(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
日立高分解能FEB測長装置の1/8レプリカ模型 S-6000/S-8820/S-9380 |
資料番号 : 113611610030 |
---|
所在等 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ |
---|---|
所在地 | 茨城県ひたちなか市 |
製作(製造)年 | 1984-2009 |
種類 | 模型 |
製作者(社)等 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 半導体製造プロセスにおいて、加工された微細パターン寸法を管理するために使用される電子顕微鏡(通称 測長SEM(SEM:Scanning Electron Microscope)やCD-SEM(CD:Critical Dimension)と呼ばれる)の1/8レプリカ。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2014/11/18 |