日立高分解能FEB測長装置の1/8レプリカ模型 S-6000/S-8820/S-9380

資料番号 : 113611610030
所在等 株式会社 日立ハイテクノロジーズ
所在地 茨城県ひたちなか市
製作(製造)年 1984-2009
種類 模型
製作者(社)等 株式会社 日立ハイテクノロジーズ
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 半導体製造プロセスにおいて、加工された微細パターン寸法を管理するために使用される電子顕微鏡(通称 測長SEM(SEM:Scanning Electron Microscope)やCD-SEM(CD:Critical Dimension)と呼ばれる)の1/8レプリカ。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 2014/11/18
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