(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
ケミカルドライエッチング(CDE)装置(Chemical Dry Etching System) CDE-Ⅳ |
資料番号 : 113611610029 |
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所在等 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
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所在地 | 神奈川県横浜市 |
製作(製造)年 | 1977 |
種類 | その他(カタログ) |
製作者(社)等 | 株式会社徳田製作所(現 芝浦メカトロニクス株式会社) |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | ケミカルドライエッチング装置 (Chemical Dry Etching System 略名:CDE)は、日本のドライエッチング装置製造会社として徳田製作所が海外へ初めて輸出した装置です(1979年7月25日付日経産業新聞の記事より)。装置内にあるウェハーとマイクロ波で発生したプラズマが離れているため、ウェハーへプラズマダメージが少ないエッチング方法を特徴としています。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/11/26 |