紫外線レジスト硬化装置「ユニハード」 H-3

資料番号 : 113611610026
所在等 ウシオ電機株式会社
所在地 東京都千代田区
製作(製造)年 1985
種類 写真
製作者(社)等 ウシオ電機株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 超LSIの微細な回路パターンを正確にエッチングできるようにするため、あらかじめレジストを硬化させる。強力で均一な遠紫外線の照射によって、短時間でレジストの変形やダレを防ぎ、高精度に回路パターンを保つ。ウエハー自動搬送系やコンピュータ制御系の装備や、プロセスノウハウの提供により、日本、韓国、台湾で80%のマーケットシェアを獲得した。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2014/10/31
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