(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
紫外線レジスト硬化装置「ユニハード」 H-3 |
資料番号 : 113611610026 |
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所在等 | ウシオ電機株式会社 |
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所在地 | 東京都千代田区 |
製作(製造)年 | 1985 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | ウシオ電機株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 超LSIの微細な回路パターンを正確にエッチングできるようにするため、あらかじめレジストを硬化させる。強力で均一な遠紫外線の照射によって、短時間でレジストの変形やダレを防ぎ、高精度に回路パターンを保つ。ウエハー自動搬送系やコンピュータ制御系の装備や、プロセスノウハウの提供により、日本、韓国、台湾で80%のマーケットシェアを獲得した。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/31 |