光洗浄装置「フォトレックス」

資料番号 : 113611610025
所在等 ウシオ電機株式会社
所在地 東京都千代田区
製作(製造)年 1983
種類 写真
製作者(社)等 ウシオ電機株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 半導体や水晶振動子の表面に付着した微細な有機化合物を、低圧水銀ランプの紫外線を使って分解、気化させて取り除く。世界初のドライ洗浄装置として注目を集めた。この光洗浄法は、のちに液晶パネル製造の標準プロセス設備として定着した、エキシマランプによるVUV/O3洗浄装置の基礎となる。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2014/10/31
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