フォトリソグラフィ実験用光源装置 UI-501C

資料番号 : 113611610020
所在等 ウシオ電機株式会社
所在地 東京都千代田区
製作(製造)年 1966
種類 写真
製作者(社)等 ウシオ電機株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 超高圧水銀ランプの光をミラーとコンデンサレンズで集光し、コリメータレンズで平行光に変え、高輝度で均一な光を取り出す。ICのフォトリソグラフィ研究が精力的に行われていた国内半導体メーカー各社に、安価で手軽さが評価され、露光装置の代用機として簡便な実験に使われた。
資料公開状況 公開
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