ウェーハ外観検査装置インスペクトラ INSPECTRA1000

資料番号 : 113611610014
所在等 東レエンジニアリング株式会社
所在地 滋賀県大津市
製作(製造)年 1992-1997
種類 写真
製作者(社)等 東レエンジニアリング株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 パターン付きウェーハの外観検査装置。OSI社から技術導入し、当事、東レ株式会社が開発。INSPECTRA1000は国産化した東レ初のオリジナルモデル。2000年に東レエンジニアリング(株)へ事業移管されたあとも、INSPECTRAシリーズは新機種開発を継続し、現在も販売中。
資料公開状況 公開
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