可変面積型電子ビーム描画装置 JBX-6A

資料番号 : 113611610013
所在等 日本電子株式会社
所在地 東京都昭島市
製作(製造)年 1977
種類 設計図・文献、写真
製作者(社)等 日本電子株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 JBX-6Aは世界で最初に商品化された加速電圧20kVの可変面積型の電子ビーム描画装置である。可変面積型電子ビームを用いる事により従来のスポット型電子ビーム描画装置と比較して飛躍的に描画速度を向上させる事ができた。現在の半導体素子生産に不可欠であるスク製作用電子ビーム描画装置は可変面積型電子ビーム方式が採用されており、JBX-6Aはマスク製作用電子ビーム描画装置開発に貢献する機械の先駆けとなった。
資料公開状況 公開
本データベース記載の画像及びテキストの複製・転載を禁じます

検索結果一覧へ戻る