オートマチックウエハプローバ

資料番号 : 113611610011
所在等 株式会社東京精密
所在地 東京都八王子市
製作(製造)年 1964
種類 写真
製作者(社)等 (株)東京精密 
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 日本国内初のウェーハプロービングマシン1号機。日本全ての半導体メーカーに納入された。個々の素子の電気特性を自動的にチェックし選別できることになり作業の省力化・効率化に貢献。
資料公開状況 公開
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