シリコン単結晶 インゴット CZ法による育成

資料番号 : 105010561001
所在等 コマツ電子金属株式会社 技術本部
所在地 神奈川県平塚市
製作(製造)年 1960
種類 試作品
製作者(社)等 コマツ電子金属
調査機関団体 社団法人新金属協会
特徴 弊社に残る最古のCZ法で育成したシリコン単結晶インゴット。1960年に結晶育成されたもので、直径は約20mm。現在のシリコン結晶もCZ法で育成されているが、300mmの量産結晶と比べると当時はこの直径が試作品のレベルであった。シード部分が折れているが、当時の結晶を理解する上では、問題ないと考える。
資料公開状況 非公開
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