超純水製造装置

資料番号 : 102610321008
所在等 オルガノ株式会社
所在地 東京都江東区
製作(製造)年 1957
種類 設計図・文献
製作者(社)等 オルガノ株式会社
調査機関団体 社団法人日本産業機械工業会
特徴 日本電気の協力を得て半導体製造用の高純度の純水を製造する装置に取り組み、1957年に日本で初めて抵抗率10MΩ・cmの純水を得る。
資料公開状況 非公開
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