超精密縦軸平面研削盤 SFG

資料番号 : 102510311014
所在等 株式会社オーエム製作所 長岡工場
所在地 新潟県長岡市
製作(製造)年 2001
種類 設計図・文献、写真、その他(受注生産品)
製作者(社)等 株式会社オーエム製作所
調査機関団体 社団法人日本工作機械工業会
特徴 株式会社ナノテムとの技術開発協力により、サファイア基板、ガラスハードディスク基板、シリコンウエハー、石英ガラス基板、超硬合金基板、アルミ基板などを加工対象とした研削盤で、加工面に作用する研削力を一定に保つことによってワークに対するダメージを最小にすることが可能。また砥石の切れ味を感知してドレスタイミングを知ることができ、無駄のないプロセス構築ができる。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2002/11/20
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